声明

本文是学习GB-T 14592-2014 钼圆片. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了钼圆片产品的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同

(或订货单)内容。

本标准适用于功率半导体器件及电真空器件等用钼圆片。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)
检索的逐批检验抽样计划

GB/T 3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T 4325(所有部分) 钼化学分析方法

YS/T 660—2007 钼及钼合金加工产品牌号和化学成分

3 要求

3.1 产品分类

3.1.1 产品的牌号和状态见表1。

1

牌号

供货状态

制造方法举例

规格/mm

直径

厚度

Mol、Mo2

毛坯(M),退火态

冲裁-切割

≥4.0

≥0.6

喷砂车边(P),退火态

喷砂-车边

≥4.0

≥0.6

粗磨车边(C),退火态

粗磨-车边

≥10.0

≥0.6

精磨车边(J),退火态

精磨-车边

≥10.0

≥0.6

精轧电火花切割(D),退火态

精轧-线切割

≥4.0

≥0.1

Mol

研磨车边(Y),退火态

研磨-车边

≥15.0

≥0.9

3.1.2 产品型号表示方法。

产品型号按产品牌号、供货状态和尺寸规格的顺序表示并标记,标记示例如下:

1 :

公称直径为20 mm, 厚度为2 mm 的 Mol 牌号的毛坯钼圆片产品表示为:

Mo1M20×2.0。

2 :

公称直径为45 mm, 厚度为3 mm 的 Mo2 牌号的喷砂车边钼圆片表示为:

Mo2P45×3.0。

GB/T 14592—2014

示例3:

公称直径为80 mm, 厚度为4 mm 的 Mol 牌号的粗磨车边钼圆片表示为:

Mo1C80×4.0。

示例4:

公称直径为55 mm, 厚度为2.5 mm 的 Mol 牌号的精磨钼圆片表示为:

Mo1J55×2.5。

示例5:

公称直径为55 mm, 厚度为2.5 mm 的 Mol 牌号的电火花切割钼圆片表示为:

Mo1D55×2.5。

示例6:

公称直径为30 mm, 厚度为4 mm 的 Mol 牌号的研磨车边钼圆片产品表示为:

Mol Y30×4.0。

3.2 化学成分

产品的化学成分应符合 YS/T 660—2007 中 Mol,Mo2 牌号的要求。

3.3 密度

钼圆片的密度不小于10.0 g/cm³。

3.4 尺寸及其允许偏差

3.4.1 产品直径及其允许偏差见表2,厚度及其允许偏差见表3。

2

单位为毫米

直径范围

直径允许偏差

毛坯

车边

电火花线切割

4~10

>10~20

>20~30

>30~50

>50~80

>80

±0.10

±0.10

±0.12

±0.14

±0.16

±0.16

-0.10

-0.10

-0.10

-0.10

-0.10

±0.10

±0.10

±0.10

±0.10

±0.10

±0.10

注:其他直径产品公差由供需双方协商确定。

3

单位为毫米

厚度范围

厚度允许偏差

毛坯,喷砂

粗磨

精磨

研磨

0.10~0.60

>0.60~2.00

>2.00~3.00

>3.00~4.00

>4.00~6.00

±0.12

±0.15

±0.17

±0.20

±0.10

±0.10

±0.12

±0.14

±0.04

±0.08

±0.08

±0.10

±0.10

+0.1

+0.1

+0.1

+0.1

+0.1

其他厚度产品公差由供需双方协商确定。

GB/T 14592—2014

3.4.2 毛坯产品平面度不大于0.100 mm; 粗磨产品平面度不大于0.025 mm;
精磨产品平面度不大于 0.015 mm;研磨产品平面度不大于0.010 mm。

3.4.3 粗磨产品表面平行度不大于0.030 mm;
精磨产品表面平行度不大于0.020 mm; 研磨产品的表面 平行度不大于0.010
mm。

3.5 外观质量

3.5.1
产品表面不允许有鼓泡、夹杂、裂纹及超出厚度允许偏差的斑点、凹坑、划伤。

3.5.2
产品边缘应整齐,不允许有分层、崩边现象,允许有局部的轻微的不超过允许偏差的冲痕和小
毛刺。

3.5.3 喷砂产品表面砂痕均匀,无目视可见的斑点、氧化点和残存砂痕。

3.5.4 磨光产品表面粗糙度及表面缺陷应符合表4规定。

4

品种

表面粗糙度Ra/μm

周边粗糙度Ra/μm

表面缺陷

不大于

尺寸/mm

间距/mm

数量/个

粗磨

6.3

6.3

φ0.4×0.1

≥0.30

≤5

精磨

1.6

6.3

研磨

0.63

6.3

3.6 腐蚀性能

产品经过腐蚀检测后,表面无亮点凹坑缺陷产生,边缘无分层现象产生。

4 试验方法

4.1 化学成分分析方法

产品的化学成分分析按照GB/T 4325 的规定进行。

4.2 密度检测方法

产品的密度测定按照GB/T 3850 的规定进行。

4.3 尺寸及其允许偏差测量方法

4.3.1 产品的直径和厚度测量采用相应精度的量具测量。

4.3.2 产品的平面度检测应将钼圆片放在平台上,采用相应精度的量具进行。

4.3.3 产品的平行度用精度0.010 mm
的千分尺测量,在相互垂直的方向测量4点,任意两点的差值不

得超过平行度要求。

4.4 外观质量检测方法

产品的外观质量用目视法进行检测;粗糙度采用对比块检测。

GB/T 14592—2014

4.5 腐蚀性能检测方法

磨光产品腐蚀检测方法如下:

a) 腐蚀溶液:30%H₂O₂ :10%NaOH 溶液=90:10(体积比);

b) 腐蚀温度:室温(23℃±2℃);

c) 时间:1 min~3 min;

d) 待反应生成深棕色泡沫后,立即用清水冲洗,吹干。

5 检验规则

5.1 检查和验收

5.1.1
产品应由供方进行检查,保证产品质量符合本标准和合同(或订货单)的要求,并附质量证明书。

5.1.2
需方可对收到的产品进行检验。如检验结果与本标准或定货合同的规定不符时,应在收到产品
之日起三个月内向供方提出,由供需双方协商解决。

5.2 组批

产品应成批提交验收。每批由同一牌号、同一供货状态和同一型号的产品组成,批量不限。

5.3 检验项目及取样

每批产品的检验项目及取样见表5所示。

5

检验项目

取样规定

要求章节号

试验方法章节号

化学成分

每批任取1件,取样重量不小于50g,供

方可以在烧结坯料取样

3.2

4.1

密度

每批抽取5件取样

3.3

4.2

尺寸及其允许偏差

抽样检测,抽样方法按照GB/T 2828.1一 般检查水平Ⅱ进行,或按照客户要求进行

检测

3.4

4.3

外观质量

逐片检验

3.5

4.4

腐蚀性能

每批随机抽样3件

3.6

4.5

5.4 检验结果的判定

5.4.1
产品的化学成分和密度检验不合格时,则取双倍试样对不合格项目进行复验。如仍有一个结果
不合格时,则整批不合格。

5.4.2 产品的尺寸及其允许偏差按正常检查一次抽样方案 AQL=2.5
判定。不合格时按加严检查一

次抽样方案 AQL=2.5 复验。若仍不合格时,则整批不合格。

5.4.3 产品的外观质量检验不合格时,判该件产品不合格。

5.4.4
腐蚀性能检测后有不合格样品时,则取双倍试样进行复验。如仍有不合格样品时,则判该批不
合格。

GB/T 14592—2014

6 标志、包装,运输、贮存和质量证明书

6.1 标志

6.1.1 检验合格的产品应附有标签或标牌,其上注明:

a) 牌号;

b) 批号;

c) 净重;

d) 供方技术监督部门的检印。

6.1.2
产品包装箱上应标明:供方名称、产品名称、状态、批号、重量及“轻放”、"防潮"等字样或标志。

6.2 包装、运输和贮存

6.2.1
产品应装入垫有防潮纸的木箱、纸箱或铁桶内,用纸屑或泡沫塑料将产品隔开,并将箱体塞紧。

6.2.2 产品在运输途中应防水防潮,并避免剧烈震动。

6.2.3 产品应贮存在干燥的、不含腐蚀性气氛的场所。

6.3 质量证明书

每批产品应附有质量证明书。其上注明:

a) 供方名称、地址;

b) 产品名称;

c) 产品牌号、型号和状态;

d) 产品批号;

e) 净重和件数;

f) 各项分析检验结果及技术监督部门检印;

g) 本标准编号;

h) 检验日期(或包装日期)。

7 合同(或订货单)内容

本标准所列材料的合同(或订货单)应包括下列内容:

a) 产品名称;

b) 牌号、型号和状态;

c) 产品净重或件数;

d) 本标准编号;

e) 其他。

延伸阅读

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